访谈|ASML全球高级副总裁沈波:开放合作半导体行业才能发展******
(第五届进博会)访谈|ASML全球高级副总裁沈波:开放合作半导体行业才能发展
中新社上海11月6日电 题:访谈|ASML全球高级副总裁沈波:开放合作半导体行业才能发展
中新社记者 李佳佳
元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂,备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上,首次通过“元宇宙”平台,带来沉浸式的光刻体验,彰显前沿科技。
自1988年交付首台步进式光刻机以来,ASML进入中国市场已有三十余年,见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。
“今年是ASML第四次参展进博会,我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示:“ASML一直秉持开放与专注,以‘开放式创新’和对光刻技术的专注,持续支持半导体行业的发展。在进博会,我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流,共商合作前景。”
首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里,观展者可以“亲身”进入无尘室,近距离接触神秘的光刻机,更可以结合影视级效果的3D裸眼视频,了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版,再穿过掩模版上的电路图案,通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频,令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。
“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”,沈波说,去年,进博会的集成电路专区设立,凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上,能够增加宣传和引导,比如举办一些专题或者小论坛,以加深外界对行业的了解。
其实,除了光刻机,ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案,从光刻机设备本身到计算光刻软件,再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等,ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中,在我们的环节上做出足够大的工艺窗口,让芯片生产的质量、精度能够控制得更好,或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”
当前,中国已是全世界最大的成熟制程市场,这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色,这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下,中国该怎么发展成熟制程,怎么把成熟制程做好,怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好,从这个角度看,中国市场的潜力是很大的,中国有全世界最大的终端市场,最活跃的应用市场,终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”
说起行业未来的发展,沈波坦言,半导体行业自身有一定的周期,有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看,整体向上的趋势是在的,“只要大趋势在,就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持,就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)
成都“全链条”补助重点研发项目******
1月5日,《成都市重点研发项目资助管理办法》(以下简称《管理办法》)新闻通气会在成都市科技局召开。成都市科技局党组成员、副局长陈旭表示,成都市将按照“基础研究—技术创新—成果转化—产业化”等全链条研发活动的思路,对重点研发项目采取前资助或后补助的支持方式,给予最高1000万元的经费支持。
陈旭说,按照《管理办法》成都市将打破当前研发项目分散在各类管理制度中的情况,通过“增设类别、调整定位、优化整合、保留提升、并入完善”5种方式,形成8类研发项目的基本架构——基础研究项目、技术创新研发项目、产业链协同创新项目、成果转化示范项目、科技人才支撑项目、科技创新合作项目、校企协同创新项目、国家级科技项目配套资助等。
《管理办法》明确,重点研发项目支持的重点领域为基础科学、技术科学、生命与医学、交叉融合领域;先进制造业、现代服务业、都市现代农业等重点产业以及未来产业领域;碳中和、生态保护、应急安全、智慧蓉城、医疗健康、文化和科技融合等社会发展领域,以及其他需重点支持的科技创新领域。
陈旭表示,《管理办法》中特别增设了基础研究项目和校企协同创新项目。其中,基础研究项目分为自主选题项目和需求引导项目,面向基础学科领域存在的基础性问题和科学前沿重大问题开展研究,支持经费分别为最高10万元和最高20万元。并且,“基础研究项目”是成都市首次在基础研究领域设立的研发项目。“这是结合实际以及城市经济社会发展与创新需求做出的调整。从全国范围看,基础研究项目多以在国家级以及省级层面设立为主,此次我市设置基础研究项目,这是成都落实《基础研究十年规划》的具体举措。”他说。
同时,《管理办法》中的产业链协同创新项目,则面向成都市建圈强链特色优势产业,支持链主企业、行业龙头企业等牵头联合产业链上下游单位,组建企业牵头、高校院所支撑、各创新主体相互协同的创新联合体,协同开展关键核心技术攻关,支持经费为最高1000万元;成果转化示范项目则支持具备稳链补链延链功能、催生新产业的科技成果在蓉转化应用,打造具有产业或区域带动意义的应用场景,支持经费为最高1000万元。(芶文涵 陈 科)
(文图:赵筱尘 巫邓炎)